微電子工業(yè)芯片制造而產(chǎn)生的含氟廢水、硅片研磨廢水以及純水處理混床再生所產(chǎn)生的高濃度酸堿廢水的處理方法,特別對(duì)含氟廢水的處理作了大膽的嘗試,取得了明顯的成效.對(duì)處理后的合格廢水回收用作工藝設(shè)備及動(dòng)力設(shè)備的冷卻水,產(chǎn)生了良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益.

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